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Luftbefeuchtung in der Halbleiterfertigung

Luftbefeuchtung in der HalbleiterfertigungRegelung der Luftfeuchtigkeit in der Halbleiterfertigung verhindert elektrostatische Aufladungen sowie Veränderungen der Maße auf der Oberfläche des Silizium-Wafers und kühlt die Fertigungsumgebung.

Unkontrollierte elektrostatische Entladungen, die während der Fertigung auftreten, können die Oberfläche der Halbleiter beschädigen und die Produktionsausbeute deutlich verringern. Durch den Fertigungsprozess entsteht Wärme und diese führt wiederum zu trockener Luft. Da trockene Luft statische Aufladung fördert, werden Luftbefeuchter genutzt, um die Umgebung auf ca. 55% relative Luftfeuchte (%rH) einzuregeln. Dadurch verschwindet die statische Aufladung auf natürliche Weise und mit ihr das Risiko einer Beschädigung der Halbleiteroberfläche.

Die Oberfläche der Silizium-Wafer ist jedoch sehr feuchtigkeitsempfindlich. Die leitfähigen Teile auf der Oberfläche können sich während der Fertigung verziehen, wenn sie einem falschen Feuchtigkeitsgrad ausgesetzt sind. Eine sehr genaue Regelung der Feuchtigkeit bis ±0.1°C Taupunkt über eine 40-Minuten-Zeitspanne ist erforderlich. Bei einer höheren Abweichung werden die leitfähigen Teile beschädigt und der Halbleiter zerstört.
Dampfluftbefeuchter wie der Neptronic SKE bieten eine solch genaue Regelung, wenn sie zusammen mit einem PureFlo RO Wasserfilter genutzt werden.

Obwohl Dampf eine sehr genaue Regelung bietet, können spezielle Kaltwasserluftbefeuchter wie der JetSpray genutzt werden, weil durch die Verdunstung des Sprühnebels ein adiabatischer Kühlungseffekt entsteht. Dadurch werden die Temperaturen während der Fertigung niedrig gehalten und weniger Kühlung ist erforderlich.

JS Humidifiers bietet einen kundenspezifischen JetSpary Luftbefeuchter für Halbleiteranwendungen an, der ein sehr präzises Regelventil hat, mit dem er die für die Anwendung erforderliche genaue und konsistente Regelung ermöglicht. Dadurch kühlt der Luftbefeuchter nicht nur die Umgebung, sondern hat auch wesentlich geringere Betriebskosten als Dampf, weil er mit kaltem Wasser betrieben wird.


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